圖/ShutterStock

Axcelis (ACLS)，一家為半導體行業提供關鍵離子注入解決方案的領先供應商，宣布向歐洲和亞洲的領先功率設備晶片製造商運送了多套Purion H SiC Power Series™和Purion M SiC Power Series™離子注入系統，並在歐洲完成了一套Purion H200 SiC Power Series™評估工具的交易。這些運送包括評估和收入系統，將用於支持汽車行業電動車（EV）應用的功率設備高量生產。

Axcelis Technologies的總裁兼CEO羅素·羅表示：“功率設備市場持續迅速增長，是我們全球增長的主要驅動力。我們很高興繼續支持客戶擴大工廠產能，也對於能夠用我們市場領先的Purion Power Series離子注入機支持新客戶感到興奮。”

Purion Power系列 Axcelis是業內唯一提供全面解決方案的植入設備供應商，以滿足功率設備製造客戶的需求。Purion Power系列家族因其創新平台而特別適合於功率設備應用，該平台提供了處理多種晶圓尺寸（150mm、200mm和300mm）、不同基板類型（SiC、Si IGBT、GaN和GaAs晶圓）以及各種注入溫度（冷、室溫、溫和熱）的靈活性。同時，該系列提供業界最高的吞吐量和資本效率。Purion Power系列涵蓋了整個離子注入市場領域，包括適用於高電流應用的Purion H Purion Power系列™、適用於高電流中能量應用的Purion H200 Power系列™、適用於中電流應用的Purion M Power系列™以及適用於高能量應用的Purion XE Power系列™。

關於Axcelis：總部位於馬薩諸塞州的貝弗利，已為半導體行業提供創新、高生產力解決方案超過40年。Axcelis致力於開發使過程應用成為可能的技術，通過設計、製造和對離子注入系統提供完整的生命周期支持，這是IC製造過程中最關鍵和使能的步驟之一。

鄭瑞宇

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